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「直線電機(jī)驅(qū)動」直線電機(jī)驅(qū)動的一維高精密位移臺可媲美氣浮軸!

發(fā)布時間:2019-09-21 13:58:15 閱讀次數(shù):173 文章來源:深圳博智達(dá)機(jī)器人
導(dǎo)讀: 直線電機(jī) 精密一維平臺采用高性能的U型直線電機(jī)進(jìn)行驅(qū)動,配備納米級別分辨率的光柵反饋系統(tǒng)及先進(jìn)的運動控制系統(tǒng),兼顧了性能和可靠性雙重設(shè)計之間的平衡。采用機(jī)械軸承的平...
直線電機(jī)精密一維平臺采用高性能的U型直線電機(jī)進(jìn)行驅(qū)動,配備納米級別分辨率的光柵反饋系統(tǒng)及先進(jìn)的運動控制系統(tǒng),兼顧了性能和可靠性雙重設(shè)計之間的平衡。采用機(jī)械軸承的平臺能夠媲美采用氣浮軸承的平臺所能達(dá)到的精度水平。
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其廣泛的產(chǎn)品系列應(yīng)用于精密光學(xué)、超高精度加工制造、半導(dǎo)體制造、高精度自動化設(shè)備U型槽直線電機(jī)
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