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精密氣浮定位平臺的主要部件,包括底座、導(dǎo)軌、氣浮滑塊和頂板,由直線電機(jī)驅(qū)動。定位平臺的懸掛工作原理是將一定壓力的壓縮空氣引入供氣通道,氣體通過節(jié)流孔在氣浮滑塊與導(dǎo)...
標(biāo)簽: 直線電機(jī)氣浮平臺
高精度直線電機(jī)、直線電機(jī)氣浮平臺、多軸氣浮精密平臺,在工作中需要實(shí)現(xiàn)亞微米運(yùn)動精度。直線電機(jī)氣浮精密運(yùn)動平臺研究了氣浮導(dǎo)軌設(shè)計(jì)和直線電機(jī)控制的關(guān)鍵技術(shù)。采用有限元...