高精度直線電機、直線電機氣浮平臺、多軸氣浮精密平臺，在工作中需要實現(xiàn)亞微米運動精度。直線電機氣浮精密運動平臺研究了氣浮導軌設計和直線電機控制的關(guān)鍵技術(shù)。采用有限元法對氣浮導軌進行了設計。采用該方法設計的氣浮導軌具有較高的承載能力和剛度。提出了一種改進的PID控制策略，以提高直線電機運動平臺的抗干擾能力，并獲得較高的穩(wěn)態(tài)位置精度。實驗結(jié)果表明，采用這種控制方法后，直線電機懸浮。精密平臺定位精度可達到亞微米，甚至納米級精度要求。

 

   采用雙邊直線電機驅(qū)動的H型氣浮精密定位平臺，研究了氣浮導軌設計方法的關(guān)鍵技術(shù)和雙邊直線電機的同步運動控制。采用有限元法對氣浮導軌進行了設計。分析了氣膜壓力場的分布。采用預壓技術(shù)提高空氣浮導軌的承載能力和剛度。靜態(tài)特性試驗表明，所研制的定位平臺氣浮導軌具有較高的承載力和剛度。設計了一種改進的基于同步速度偏差的并聯(lián)結(jié)構(gòu)同步控制器。通過模糊控制實現(xiàn)PID參數(shù)的自適應在線整定。運動實驗表明，改進后的控制器具有較高的同步控制精度，速度同步精度比一般同步控制高3倍以上，適用于具有強機械耦合的多電機同步運動控制。H型直線電機氣浮定位平臺具有承載能力強、精度高等優(yōu)點，可應用于光刻機、光學檢測等精密工程領域。

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