結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，適合高速直線運(yùn)動(dòng)，一次繞組利用率高，沒(méi)有橫向邊緣效應(yīng)，容易克服單邊磁拉力的問(wèn)題，易于調(diào)整和控制、適應(yīng)性強(qiáng)和高速度、加速度在高精度加工中的應(yīng)用有非常重要的優(yōu)勢(shì)。

    超精密加工是制造業(yè)的前沿科學(xué)，在工作中發(fā)揮著重要作用，尤其是在國(guó)防工業(yè)中。巡航導(dǎo)彈慣性制導(dǎo)裝置的陀螺儀、雷達(dá)關(guān)鍵器件的波導(dǎo)、衛(wèi)星儀器上的精密軸承和大型集成電路都涉及超精密加工。超精密機(jī)床的加工誤差在線補(bǔ)償和改善加工的形狀精度，為了處理一些特殊的非軸對(duì)稱表面，微飼料設(shè)備是必要的，和高精度微飼料設(shè)備已成為一個(gè)重要的超精密機(jī)床的關(guān)鍵設(shè)備。

    目前，博智達(dá)直線電機(jī)廣泛應(yīng)用于精密微進(jìn)給裝置中。其原理是利用電致伸縮效應(yīng)。電致伸縮效應(yīng)的變形與電場(chǎng)強(qiáng)度的平方成正比。它可以實(shí)現(xiàn)高剛度位移沒(méi)有差距，解決1。0~2。5nm，大變形系數(shù)，高頻率和響應(yīng)時(shí)間為100μs。為了增加中風(fēng)，通用汽車(chē)是由許多部分組成的晶體堆積在一起。尺蠖式壓電陶瓷電機(jī)分別由三個(gè)管狀陶瓷壓電控制部分，a和B的用于徑向擴(kuò)張，夾緊和松開(kāi)電機(jī)軸，而組件C是用于軸向膨脹，這樣電機(jī)軸產(chǎn)生軸向位移，實(shí)現(xiàn)逐步線性運(yùn)動(dòng)。

 

    美國(guó)LLL國(guó)家實(shí)驗(yàn)室的dtm-3大型金剛石車(chē)床、lodtm大型光學(xué)金剛石車(chē)床、英國(guó)cranfieid公司的oagm2500大型精密機(jī)床均采用電致伸縮微進(jìn)給裝置。

    超聲電機(jī)是一種新型的直接驅(qū)動(dòng)電機(jī)，在國(guó)內(nèi)外受到了越來(lái)越多的關(guān)注。廣義而言，它也是一個(gè)壓電陶瓷電機(jī)。利用壓電陶瓷的逆壓電效應(yīng)，通過(guò)共振放大和摩擦耦合將材料的微變形轉(zhuǎn)化為轉(zhuǎn)子或滑塊的宏觀運(yùn)動(dòng)。壓電陶瓷在適當(dāng)?shù)倪\(yùn)動(dòng)電壓下可以形成單一的方向。當(dāng)轉(zhuǎn)子在彈性體表面以適當(dāng)?shù)膲毫ψ饔脮r(shí)，會(huì)產(chǎn)生由顆粒摩擦驅(qū)動(dòng)的運(yùn)動(dòng)。如果行波方向改變，轉(zhuǎn)子就會(huì)反轉(zhuǎn)。

 

    超精密加工中，為了處理非球面形狀精度高，飼料超精密機(jī)床的傳動(dòng)系統(tǒng)是需要非常高的分辨率，和每個(gè)脈沖的運(yùn)動(dòng)是0。01μm。幾個(gè)著名的外國(guó)公司的產(chǎn)品，但這是被禁止的，我們的國(guó)家。目前，國(guó)防科技大學(xué)、哈爾濱工業(yè)大學(xué)、清華大學(xué)等正在開(kāi)展這方面的研究。超聲波電機(jī)具有體積小、重量輕、響應(yīng)速度快、無(wú)電磁干擾、轉(zhuǎn)速低、轉(zhuǎn)矩大等特點(diǎn)。其行程可在10厘米內(nèi)取代傳統(tǒng)的電磁馬達(dá)。一步解決超聲電機(jī)與反饋閉環(huán)控制約為0。01μm，預(yù)計(jì)將取代機(jī)械摩擦傳動(dòng)。由日本東京大學(xué)開(kāi)發(fā)的saw線性超聲電機(jī)，其階躍分辨率高達(dá)5nm2。3，在特殊截面加工領(lǐng)域得到了應(yīng)用。

 

    直線電機(jī)的直線運(yùn)動(dòng)響應(yīng)快、精度高，已成功地應(yīng)用于計(jì)算機(jī)控制的特殊截面工件（汽車(chē)發(fā)動(dòng)機(jī)活塞、lobed軸承外圈滾道、活塞環(huán)、凸輪等）的精密車(chē)削磨削。與傳統(tǒng)的加工不規(guī)則內(nèi)外圓輪廓的“仿形”方法相比，具有編程靈活、加工精度高的特點(diǎn)，非常適合加工多品種、小批量的產(chǎn)品。