高速高精運(yùn)動(dòng)控制是電子制造裝備的核心技術(shù)之一。在IC芯片的封裝與檢測(cè)中,隨著芯片尺寸的減小,生產(chǎn)率要求的提高,封裝設(shè)備的加速度、速度和定位精度要求越來(lái)越高。這給運(yùn)動(dòng)控制器的設(shè)計(jì)提出了極大的挑戰(zhàn)。
     
　　速度方面，基于直驅(qū)結(jié)構(gòu)特點(diǎn)的直線電機(jī)具有相當(dāng)大的優(yōu)勢(shì)，速度一般可達(dá)300m/min（以永磁同步直線電機(jī)為例，感應(yīng)直線電機(jī)更高），加速度達(dá)到20g，能滿足絕大多數(shù)應(yīng)用場(chǎng)合。直線電機(jī)高速限制與幾個(gè)因素有關(guān)（假設(shè)電機(jī)參數(shù)已定）：
(1)供電電壓，直線電機(jī)一般作為電動(dòng)機(jī)使用，其反電勢(shì)會(huì)抵消母線電壓，進(jìn)而限制速度，提高電壓可以提高電機(jī)的速度上限；
(2)鐵心材料，
直線電機(jī)龍門(mén)
 
　　同步轉(zhuǎn)速等于二倍的極距和頻率乘積，當(dāng)極距一定，高速意味著更高的電流激勵(lì)頻率，而高的頻率帶來(lái)更多的鐵損，增加發(fā)熱，而一般使用的硅鋼片在設(shè)計(jì)時(shí)限制在一定頻率使用范圍；(3)其他系統(tǒng)組件，比如導(dǎo)軌允許運(yùn)行的最大加速度一般小于5g、光柵尺以1um分辨率運(yùn)行的速度一般低于5m/s。在高速應(yīng)用系統(tǒng)中，要充分考慮各個(gè)組件的特點(diǎn)。
       
　　因此，直線電機(jī)針對(duì)不同的應(yīng)用要進(jìn)行不同的設(shè)計(jì)，主要有以下幾個(gè)因素（假設(shè)電壓一定）：

1、合理的極距設(shè)計(jì)，滿足最大速度時(shí)低于一定頻率的要求，限制鐵損發(fā)熱；

2、合理的繞組設(shè)計(jì)，根據(jù)速度要求設(shè)計(jì)電機(jī)力常數(shù)（對(duì)應(yīng)反電勢(shì)常數(shù)）、電阻、電感，以滿足最高速度時(shí)的供電電壓需求；
 
3、加強(qiáng)冷卻，直線電機(jī)在改善發(fā)熱后速度還可以進(jìn)一步提高。
 
     直線電機(jī)在加速度中，直線電機(jī)的精度是可以保證的
 
     直線電機(jī)具有高加速高減速、遠(yuǎn)動(dòng)慣量小、高靈敏、系統(tǒng)剛度高等優(yōu)點(diǎn)，光柵尺是閉環(huán)控制系統(tǒng)中的測(cè)量裝置。光柵尺只是一個(gè)反饋系統(tǒng)。比如步進(jìn)電機(jī)配合滾珠絲杠平臺(tái)也可以加光柵尺作為反饋。直線電機(jī)，音圈電機(jī)這是必須用光柵尺做反饋的。為了實(shí)現(xiàn)全閉環(huán)，有時(shí)用了伺服電機(jī)之后，也會(huì)在機(jī)構(gòu)上加光柵尺。 一般是選好電機(jī)，根據(jù)機(jī)構(gòu)要求的精度，配合著選合適的光柵尺形成閉環(huán)反饋。
　　
    在實(shí)際應(yīng)用中，需求是復(fù)雜的，需要綜合考慮；直線電機(jī)在高速應(yīng)用中，不僅要考慮電機(jī)本身的耐受能力，還要綜合電機(jī)的外圍因素。但不論如何，直線電機(jī)的高運(yùn)動(dòng)性能仍是其明顯優(yōu)勢(shì)之一。